Nota : Ceci est la version 2019鈥�2020 de l'annuaire 茅lectronique. Veuillez mettre 脿 jour l'ann茅e dans la barre d'adresse de votre navigateur pour une version plus r茅cente de cette page, ou .
Vue d'ensemble
G茅nie m茅canique : Introduction to microelectromechanical systems (MEMS). Micromachining techniques (thin-film deposition; lithography; etching; bonding). Microscale mechanical behaviour (deformation and fracture; residual stresses; adhesion; experimental techniques). Materials- and process-selection. Process integration. Design of microdevice components to meet specified performance and reliability targets using realistic manufacturing processes.
Terms: Automne 2019
Instructors: Vengallatore, Srikar (Fall)
